マイクロカンチレバー
測定例のご案内
測定例 ① ウエハ上の50nm段差
10×10µm 3D表示
10×10µm 断面解析
測定例 ② ウエハバンプ
10×10µm 3D表示
10×10µm 面粗さ解析
測定例 ③ ICパターンホール
4×4µm 3D表示
4×4µm 断面解析
測定例 ④ マイクロレンズ
12.5×12.5µm 3D表示
12.5×12.5µm 断面解析
測定例 ⑤ 光学レンズ上の異物
5×5µm 3D表示
5×5µm 断面解析
測定例 ⑥ トナー
1×1µm 3D表示
1×1µm 断面解析
測定例 ⑦ ステンレス板
15×15µm 3D表示
15×15µm 断面解析
測定例 ⑧ 銅箔
30×30µm 3D表示
30×30µm 面粗さ解析
測定例 ⑨ ポリマーフィルム
10×10µm 3D表示
10×10µm 面粗さ解析
2.5×2.5µm 3D高さ像
2.5×2.5µm SPM位相像
測定例 ⑩ 薄膜境界
5×5µm 3D高さ像
5×5µm 断面解析
測定例 ⑪ 乳酸菌
30×30µm 3D表示
