OMCL-AC160TS

OMCL-AC160TS-R3 / 100 chips, アルミニウム背面コート
OMCL-AC160TS-C3 / 24 chips, アルミニウム背面コート

OMCL-AC160TN-R3 / 100 chips, 金属コートなし
OMCL-AC160TN-C3 / 24 chips, 金属コートなし

OMCL-AC160

OMCL-AC160

大気中ダイナミックモード測定の定番として親しまれているこれまでのOMCL-AC160 Type2シリーズが、Type3シリーズ(-R3, -C3シリーズ)として新しく生まれ変わりました。

特長

1. 高いQ値で高分解能測定

  • 高いQ値と300 kHz(Typ.)の共振周波数を維持しながら、バネ定数を26 N/m(Typ.)まで柔らかくしました。試料へのダメージを少なくし、高分解能な試料表面凹凸測定・高感度位相測定を実現します。

2. 安定して鋭く尖った探針先端

  • オリンパス独自の尖鋭化処理による安定したテトラヘドラル探針
  • 先端曲率半径 7 nm(Typ.)

3. 背面から光学観察しても探針と試料測定部位の位置関係の把握が容易

  • ご好評頂いている「TipView構造」

4. Chipのハンドリングが格段に向上

  • 垂直な側壁を備えた「新コンセプトChip」採用

5. 目的に応じて選べる背面コート

  • アルミニウム背面コート有り : OMCL-AC160TS-シリーズ
  • アルミニウム背面コート無し : OMCL-AC160TN-シリーズ

6. ケースを開けてすぐに使用可能な切り分け済みチップ

  • 100チップ入り(-R3) : OMCL-AC160TS-R3, OMCL-AC160TN-R3
  • 24チップ入り(-C3) : OMCL-AC160TS-C3, OMCL-AC160TN-C3

特長の詳細

1. カンチレバー

これまでのOMCL-AC160 Type2シリーズの特長である高いQ値と300 kHz(Typ.)の共振周波数はそのままに、バネ定数を42 N/m(Typ.)から26 N/m(Typ.)へ下げることで、試料へのダメージを少なくし、高分解能測定を実現します。

OMCL-AC160TS-R3の機械特性

2. 探針

OMCL-ACシリーズの探針に採用されたテトラヘドラル形状(三角錐形状)は、理論的に先端で一点終端し、安定して尖る探針を形成することができます。さらにオリンパス独自の尖鋭化処理を施し一層尖らせた探針は、高解像度AFM測定を可能にします。

テトラヘドラル探針はカンチレバーの先端に形成され、「TipView構造」のマイクロカンチレバーを構成しています。探針の先端はカンチレバー自由端のカンチレバー面法線上にあり、光学顕微鏡が組み合わされたSPM装置にとりつけて背面から試料とマイクロカンチレバーを光学観察したとき、カンチレバーで探針が隠されず、試料上の興味の部位に探針を容易に位置合わせすることが可能です。

OMCL-ACシリーズの探針

OMCL-ACシリーズの探針

OMCL-ACシリーズの探針

3. 「新コンセプトChip」

新コンセプトChipは、Chipの横断面が長方形で側壁が垂直になっています。このため従来のChipに比べて、ピンセットでのつまみやすさが格段に向上しました。ピンセットを使い、Chipをケースから取り出しChipホルダーに装着するまでの一連の作業がスムーズに行えます。
また、欠けやすいシリコン製のChipをピンセットでつまんだとき、シリコンの欠けらの発生を大幅に低減できます。カンチレバーの振動特性が画質に影響を与えるACモード測定では、ChipホルダーにChipを装着したときにシリコンの欠けらが両者の間に入ると、カンチレバーの振動特性が悪くなることがあります。新コンセプトChipはこれを低減し、きれいな画像を安定して得ることができます。

新コンセプトChip

4. パッケージング

新コンセプトChipは、ボリューム品-R3(100チップ入り)と少量品-C3(24チップ入り)をどちらも切り分け済みChipでご提供いたします。

100チップ入り(-R3)

100チップ入り(-R3)

24チップ入り(-C3)

24チップ入り(-C3)

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