電気測定用シリコンカンチレバー

< モデル名 / Chip数 / 背面反射コート材 >

OMCL-AC240TM-R3 / 100 chips, アルミニウム
OMCL-AC240TM-B3 / 18 chips, アルミニウム

OMCL-AC240TM

OMCL-AC240TM

電気測定用の白金コートシリコンカンチレバーOMCL-AC240TMシリーズが、「新コンセプトChip」Type3シリーズ(-R3, -B3シリーズ)として新しく生まれ変わりました。

特長

  • 1. 電気特性評価に最適な白金コートモデル
  • 2. 金属探針でもここまで尖る : 曲率半径15 nm(Nom.)

(新シリコンカンチレバーシリーズ共通の特長)

  • 3. 安定して鋭く尖った探針先端
  • 4. 「TipView構造」 : 探針と試料測定部位の位置関係の把握が容易
  • 5. 「新コンセプトChip」 : Chipのハンドリングが格段に向上
  • 6. 目的に応じて選べる背面反射コート
  • 7. ケースを開けてすぐに使用可能な切り分け済みChip

特長の詳細

1. 電気特性評価に最適な白金コートモデル

EFM, KFM, SCMなど試料の電気特性を測定するSPM手法に最適なカンチレバーです。探針側にコートした白金は貴金属であり良好な導電性を安定して発揮します。また白金層の表面は金コートした場合と異なり滑らかになり、元部材の尖ったシリコン探針の形状に近い形が得られます。探針曲率半径は15 nm(Nom.) と尖っており、良好な導電性を維持しながら高い解像度での表面形状画像取得が期待できます。

電気特性評価に最適な白金コートモデル

電気測定用カンチレバーのFAQもご参照下さい。

2. 金属探針でもここまで尖る : 曲率半径15 nm(Nom.)

本製品は従来製品に比べプローブ抵抗値を下げ高い導電性を示しながら、探針先端も一層鋭く尖っています。高解像度で試料表面形状を観察しながら、高い感度で電気特性の測定を行うことが可能です。

OMCL-AC240TM Type3 シリーズ プローブ抵抗値・探針曲率半径の比較

3. 安定して鋭く尖った探針先端

OMCL-ACシリーズの探針に採用されたテトラヘドラル形状(三角錐形状)は、理論的に先端で一点終端し、安定して尖る探針を実現することができます。さらにオリンパス独自の尖鋭化処理により一層尖らせた探針は、高解像度AFM測定を可能にします。

4. 「TipView構造」 : 探針と試料測定部位の位置関係の把握が容易

テトラヘドラル探針はカンチレバーの先端に形成され、「TipView構造」のマイクロカンチレバーを構成しています。探針の先端はカンチレバー自由端のカンチレバー面法線上にあり、光学顕微鏡が組み合わされたSPM装置にとりつけて背面から試料とマイクロカンチレバーを光学観察したとき、カンチレバーで探針が隠されず、試料上の興味の部位に探針を容易に位置合わせすることが可能です。

OMCL-ACシリーズの探針

OMCL-ACシリーズの探針

OMCL-ACシリーズの探針

5. 「新コンセプトChip」 : Chipのハンドリングが格段に向上

新コンセプトChipは、Chipの横断面が長方形で側壁が垂直になっています。このため従来のChipに比べて、ピンセットでのつまみやすさが格段に向上しました。ピンセットを使い、Chipをケースから取り出しChipホルダーに装着するまでの一連の作業がスムーズに行えます。
また、欠けやすいシリコン製のChipをピンセットでつまんだとき、シリコンの欠けらの発生を大幅に低減できます。カンチレバーの振動特性が画質に影響を与えるACモード測定では、ChipホルダーにChipを装着したときにシリコンの欠けらが両者の間に入ると、カンチレバーの振動特性が悪くなることがあります。新コンセプトChipはシリコンの欠けらの発生を低減し、きれいな画像を安定して得ることができます。

新コンセプトChip

6. アルミニウム背面反射コートによる高いS/N比検出

背面反射コート材料には、高い反射率を示すアルミニウムを採用しました。光変位センサーで高いS/N比検出が期待できます。

7. ケースを開けてすぐに使用可能な切り分け済みChip

ボリューム品 -R3(100 chip入り)と少量品 -B3(18 chip入り)をどちらも切り分け済みChipでご提供いたします。

100チップ入り(-R3)

100チップ入り(-R3)

18 chip入り(-B3)

18 chip入り(-B3)

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