電気測定用シリコンカンチレバー

ダイナミックモード用新シリコンカンチレバー

omcl_ac240tm_r3

探針側白金コート, アルミニウム反射コート付き

OMCL-AC240TM-R3, OMCL-AC240TM-B3
カンチレバー
  A B C D
種類 - - -
共振周波数
fres
[kHz] 70
(50~90)
     
バネ定数
kz
[N/m] 2
(0.6~4.6)
     
形状   短冊形
長さ × 幅 × 厚さ
L × W × T
[µm] 240×40×2.3      
探針位置オフセット※1
D
[µm] 0
探針

正面

正面

側面

側面

正面(探針先端部)

正面(探針先端部)

側面(探針先端部)

側面(探針先端部)
形状 テトラヘドラル
探針高さ [µm] 14
有効探針長さ※2 [µm] -
曲率半径
R tip
[nm] 15
材質
探針先端 シリコン (N型ドープ)
レバー シリコン (N型ドープ)
金属膜コート
探針側 白金
反射面側 アルミニウム
chip
種類 新コンセプト シリコンchip
長さ × 幅 × 厚さ
Lchip × Wchip × Tchip
[mm] 3.4×1.6×0.3
測定モード
コンタクト -
ダイナミック
測定環境
大気中
液中 -
  • ※1 探針位置オフセットは、カンチレバー長手方向に対してカンチレバー先端位置から探針先端位置までの距離を表します。探針先端がカンチレバー先端より先に飛び出している場合、探針位置オフセットは正の値で表されます。カンチレバー先端位置(自由端)より、探針先端がカンチレバー固定端方向に位置する場合、探針位置オフセットは負の値で表されます。
  • ※2 有効探針長さは、例えば2段構造探針の探針先端から探針径がなめらかに広がっている部分の探針長さで、実効的に探針として作用する部分の長さとなります。
  • ※3 仕様・外観につきましては、予告なしに変更する場合があります。あらかじめご了承ください。

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